今日播報(bào)!電子掃描顯微鏡基本原理是什么?電子掃描顯微鏡怎么工作的?
哈嘍小伙伴們 ,今天給大家科普一個(gè)小知識(shí)。在日常生活中我們或多或少的都會(huì)接觸到電子掃描顯微鏡基本原理_電子掃描顯微鏡_SEM的工作原理方面的一些說(shuō)法,有的小伙伴還不是很了解,今天就給大家詳細(xì)的介紹一下關(guān)于電子掃描顯微鏡基本原理_電子掃描顯微鏡_SEM的工作原理的相關(guān)內(nèi)容。
1、[掃描電子顯微鏡] 掃描電子顯微鏡 (scanning electron microscopy,SEM) 掃描電子顯微鏡是1965年發(fā)明的較現(xiàn)代的細(xì)胞生物學(xué)研究工具,主要是利用二次電子信號(hào)成像來(lái)觀察樣品的表面形態(tài),即用極狹窄的電子束去掃描樣品,通過(guò)電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生各種效應(yīng),其中主要是樣品的二次電子發(fā)射。
2、二次電子能夠產(chǎn)生樣品表面放大的形貌像,這個(gè)像是在樣品被掃描時(shí)按時(shí)序建立起來(lái)的,即使用逐點(diǎn)成像的方法獲得放大像。
(資料圖片僅供參考)
3、 掃描電子顯微鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用。
4、當(dāng)一束高能的入射電子轟擊物質(zhì)表面時(shí),被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子,以及在可見、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。
5、同時(shí),也可產(chǎn)生電子-空穴對(duì)、晶格振動(dòng) (聲子)、電子振蕩 (等離子體)。
6、原則上講,利用電子和物質(zhì)的相互作用,可以獲取被測(cè)樣品本身的各種物理、化學(xué)性質(zhì)的信息,如形貌、組成、晶體結(jié)構(gòu)、電子結(jié)構(gòu)和內(nèi)部電場(chǎng)或磁場(chǎng)等等。
7、掃描電子顯微鏡正是根據(jù)上述不同信息產(chǎn)生的機(jī)理,采用不同的信息檢測(cè)器,使選擇檢測(cè)得以實(shí)現(xiàn)。
8、如對(duì)二次電子、背散射電子的采集,可得到有關(guān)物質(zhì)微觀形貌的信息;對(duì)x射線的采集,可得到物質(zhì)化學(xué)成分的信息。
9、正因如此,根據(jù)不同需求,可制造出功能配置不同的掃描電子顯微鏡。
10、 [編輯本段] SEM機(jī)構(gòu)組成 掃描電子顯微鏡由三大部分組成:真空系統(tǒng),電子束系統(tǒng)以及成像系統(tǒng)。
11、 以下提到掃描電子顯微鏡之處,均用SEM代替 真空系統(tǒng) 真空系統(tǒng)主要包括真空泵和真空柱兩部分。
12、真空柱是一個(gè)密封的柱形容器。
13、 真空泵用來(lái)在真空柱內(nèi)產(chǎn)生真空。
14、有機(jī)械泵、油擴(kuò)散泵以及渦輪分子泵三大類,機(jī)械泵加油擴(kuò)散泵的組合可以滿足配置鎢槍的SEM的真空要求,但對(duì)于裝置了場(chǎng)致發(fā)射槍或六硼化鑭槍的SEM,則需要機(jī)械泵加渦輪分子泵的組合。
15、 成象系統(tǒng)和電子束系統(tǒng)均內(nèi)置在真空柱中。
16、真空柱底端即為右圖所示的密封室,用于放置樣品。
17、 之所以要用真空,主要基于以下兩點(diǎn)原因: 電子束系統(tǒng)中的燈絲在普通大氣中會(huì)迅速氧化而失效,所以除了在使用SEM時(shí)需要用真空以外,平時(shí)還需要以純氮?dú)饣蚨栊詺怏w充滿整個(gè)真空柱。
18、 為了增大電子的平均自由程,從而使得用于成象的電子更多。
19、 電子束系統(tǒng) 電子束系統(tǒng)由電子槍和電磁透鏡兩部分組成,主要用于產(chǎn)生一束能量分布極窄的、電子能量確定的電子束用以掃描成象。
20、 電子槍 電子槍用于產(chǎn)生電子,主要有兩大類,共三種。
21、 一類是利用場(chǎng)致發(fā)射效應(yīng)產(chǎn)生電子,稱為場(chǎng)致發(fā)射電子槍。
22、這種電子槍極其昂貴,在十萬(wàn)美元以上,且需要小于10-10torr的極高真空。
23、但它具有至少1000小時(shí)以上的壽命,且不需要電磁透鏡系統(tǒng)。
24、 另一類則是利用熱發(fā)射效應(yīng)產(chǎn)生電子,有鎢槍和六硼化鑭槍兩種。
25、鎢槍壽命在30~100小時(shí)之間,價(jià)格便宜,但成象不如其他兩種明亮,常作為廉價(jià)或標(biāo)準(zhǔn)SEM配置。
26、六硼化鑭槍壽命介于場(chǎng)致發(fā)射電子槍與鎢槍之間,為200~1000小時(shí),價(jià)格約為鎢槍的十倍,圖像比鎢槍明亮5~10倍,需要略高于鎢槍的真空,一般在10-7torr以上;但比鎢槍容易產(chǎn)生過(guò)度飽和和熱激發(fā)問(wèn)題。
27、 電磁透鏡 熱發(fā)射電子需要電磁透鏡來(lái)成束,所以在用熱發(fā)射電子槍的SEM上,電磁透鏡必不可少。
28、通常會(huì)裝配兩組: 匯聚透鏡:顧名思義,匯聚透鏡用匯聚電子束,裝配在真空柱中,位于電子槍之下。
29、通常不止一個(gè),并有一組匯聚光圈與之相配。
30、但匯聚透鏡僅僅用于匯聚電子束,與成象會(huì)焦無(wú)關(guān)。
31、 物鏡:物鏡為真空柱中最下方的一個(gè)電磁透鏡,它負(fù)責(zé)將電子束的焦點(diǎn)匯聚到樣品表面。
32、 成像系統(tǒng) 電子經(jīng)過(guò)一系列電磁透鏡成束后,打到樣品上與樣品相互作用,會(huì)產(chǎn)生次級(jí)電子、背散射電子、歐革電子以及X射線等一系列信號(hào)。
33、所以需要不同的探測(cè)器譬如次級(jí)電子探測(cè)器、X射線能譜分析儀等來(lái)區(qū)分這些信號(hào)以獲得所需要的信息。
34、雖然X射線信號(hào)不能用于成象,但習(xí)慣上,仍然將X射線分析系統(tǒng)劃分到成象系統(tǒng)中。
35、 有些探測(cè)器造價(jià)昂貴,比如Robinsons式背散射電子探測(cè)器,這時(shí),可以使用次級(jí)電子探測(cè)器代替,但需要設(shè)定一個(gè)偏壓電場(chǎng)以篩除次級(jí)電子。
36、 [編輯本段] SEM的工作原理 [光學(xué)顯微鏡、TEM、SEM成像原理比較] 光學(xué)顯微鏡、TEM、SEM成像原理比較 SEM 的工作原理是用一束極細(xì)的電子束掃描樣品,在樣品表面激發(fā)出次級(jí)電子,次級(jí)電子的多少與電子束入射角有關(guān),也就是說(shuō)與樣品的表面結(jié)構(gòu)有關(guān),次級(jí)電子由探測(cè)體收集,并在那里被閃爍器轉(zhuǎn)變?yōu)楣庑盘?hào),再經(jīng)光電倍增管和放大器轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào)來(lái)控制熒光屏上電子束的強(qiáng)度,顯示出與電子束同步的掃描圖像。
37、圖像為立體形象,反映了標(biāo)本的表面結(jié)構(gòu)。
38、為了使標(biāo)本表面發(fā)射出次級(jí)電子,標(biāo)本在固定、脫水后,要噴涂上一層重金屬微粒,重金屬在電子束的轟擊下發(fā)出次級(jí)電子信號(hào)。
本文到此分享完畢,希望對(duì)大家有所幫助。
關(guān)鍵詞: 掃描電子顯微鏡原理
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