近日，武漢天河機(jī)場(chǎng)迎來(lái)了一箱比黃金還要貴重的進(jìn)口設(shè)備!

據(jù)cnBeta、環(huán)球網(wǎng)、快科技等多家媒體證實(shí)，長(zhǎng)江存儲(chǔ)從荷蘭阿斯麥(ASML)公司訂購(gòu)的一臺(tái)光刻機(jī)已抵達(dá)武漢。這臺(tái)光刻機(jī)價(jià)值高達(dá)7200萬(wàn)美元，約合人民幣4.6億元。

另?yè)?jù)日經(jīng)亞洲評(píng)論(Nikkei Asian Review)上周報(bào)道，中芯國(guó)際也向阿斯麥下單了一臺(tái)價(jià)值高達(dá)1.2億美元的EUV(極紫外線(xiàn))光刻機(jī)。這臺(tái)機(jī)器預(yù)計(jì)將于2019年初交貨。

每經(jīng)小編注意到，荷蘭當(dāng)?shù)孛襟w《埃因霍溫經(jīng)濟(jì)報(bào)》也證實(shí)了上述消息。

從飛利浦獨(dú)立出來(lái)的阿斯麥公司在高端光刻機(jī)領(lǐng)域占據(jù)了全球90%的市場(chǎng)份額。光刻機(jī)(又稱(chēng)曝光機(jī))是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的核心設(shè)備，對(duì)芯片工藝有著決定性的影響。

▲法國(guó)研究所暗室中的小型曝光機(jī)

如今，中國(guó)兩家企業(yè)先后訂購(gòu)了兩臺(tái)高端光刻機(jī)，總價(jià)值約12.3億元人民幣。據(jù)日經(jīng)亞洲評(píng)論報(bào)道，阿斯麥公司有關(guān)人士否認(rèn)有媒體關(guān)于“高端光刻機(jī)對(duì)中國(guó)大陸禁運(yùn)”的傳聞，強(qiáng)調(diào)對(duì)中國(guó)大陸客戶(hù)一視同仁。

此外，阿斯麥公司接受中芯國(guó)際訂單的時(shí)間點(diǎn)是在今年4月中興通訊遭遇美國(guó)制裁之后。

長(zhǎng)江存儲(chǔ)迎來(lái)第一臺(tái)光刻機(jī)

2016年，紫光集團(tuán)與國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金、湖北科投等合資成立了長(zhǎng)江存儲(chǔ)，注冊(cè)資本額為人民幣386億元。長(zhǎng)江存儲(chǔ)公司是中國(guó)高端芯片聯(lián)盟發(fā)起單位之一，被寄望推動(dòng)中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主研發(fā)。

　▲長(zhǎng)江存儲(chǔ)官網(wǎng)宣傳片截圖

據(jù)快科技等報(bào)道，長(zhǎng)江存儲(chǔ)訂購(gòu)的這臺(tái)光刻機(jī)采用193nm沉浸式設(shè)計(jì)，可生產(chǎn)20-14nm工藝的3D NAND閃存晶圓，售價(jià)達(dá)7200萬(wàn)美元，約合人民幣4.6億元。

目前，該機(jī)已經(jīng)運(yùn)抵武漢天河機(jī)場(chǎng)，相關(guān)入境手續(xù)辦理完畢后，即可運(yùn)至長(zhǎng)江存儲(chǔ)的工廠。

根據(jù)官網(wǎng)資料，2016年底，國(guó)家存儲(chǔ)器基地項(xiàng)目(一期)一號(hào)生產(chǎn)和動(dòng)力廠房在武漢正式開(kāi)工建設(shè)，2017年9月底提前封頂，2018年4月5日首批價(jià)值400萬(wàn)美元的精密儀器進(jìn)場(chǎng)安裝。

　▲國(guó)家存儲(chǔ)器基地項(xiàng)目芯片生產(chǎn)機(jī)安裝儀式(圖片來(lái)源：長(zhǎng)江存儲(chǔ)官網(wǎng))

目前，長(zhǎng)江存儲(chǔ)擁有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的32層堆疊3D NAND閃存已經(jīng)開(kāi)始試產(chǎn)，不少產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)都拿到了樣片測(cè)試，預(yù)計(jì)今年第四季度量產(chǎn)。同時(shí)，長(zhǎng)江存儲(chǔ)還在推進(jìn)64層堆疊3D閃存，力爭(zhēng)2019年底實(shí)現(xiàn)規(guī)模量產(chǎn)，將與世界領(lǐng)先水平差距縮短到2年之內(nèi)。

中芯國(guó)際進(jìn)軍“7納米”時(shí)代

每經(jīng)小編注意到，2000年成立的中芯國(guó)際(SMIC)總部位于上海。在港股上市的中芯國(guó)際據(jù)稱(chēng)是中國(guó)大陸規(guī)模最大、技術(shù)最先進(jìn)的集成電路芯片制造企業(yè)之一。

據(jù)日經(jīng)亞洲評(píng)論報(bào)道，盡管中芯國(guó)際在這一市場(chǎng)仍落后于市場(chǎng)領(lǐng)先者兩至三代技術(shù)，但是購(gòu)買(mǎi)到目前世界最先進(jìn)的EUV光刻機(jī)，彰顯了其努力追趕的決心。

　▲阿斯麥官網(wǎng)產(chǎn)品示意圖

每經(jīng)小編了解到，EUV是目前世界上最昂貴也是最先進(jìn)的芯片生產(chǎn)工具。小于5納米的芯片晶圓，目前只能用EUV光刻機(jī)生產(chǎn)。三星電子和臺(tái)積電目前正競(jìng)爭(zhēng)生產(chǎn)7納米工藝技術(shù)芯片，這兩家都訂購(gòu)了阿斯麥公司的EUV光刻機(jī)。

中芯國(guó)際這次引進(jìn)的EUV光刻機(jī)預(yù)計(jì)將于2019年初交付。而在2017年3月，中芯國(guó)際宣布將進(jìn)軍7納米工藝技術(shù)的研發(fā)。

有芯片行業(yè)高管表示，

“購(gòu)買(mǎi)這樣的機(jī)器雖然不能保證100%成功，但這至少顯示了中芯國(guó)際自主研發(fā)的決心和動(dòng)力。”

光學(xué)研究機(jī)構(gòu)人士表示，

“這臺(tái)光刻機(jī)一旦安裝完成，將會(huì)極大縮短工藝時(shí)長(zhǎng)，并且讓廠商有能力嘗試生產(chǎn)更復(fù)雜的高精度芯片。”

　　▲圖片來(lái)源：攝圖網(wǎng) (圖文無(wú)關(guān))

中芯國(guó)際2017年凈利潤(rùn)為1.264億美元，幾乎全部用于這臺(tái)光刻機(jī)的訂購(gòu)了。2018年一季度，中芯國(guó)際凈利潤(rùn)為2937萬(wàn)美元。

中芯國(guó)際聯(lián)合首席執(zhí)行官趙海軍在5月10日的財(cái)報(bào)電話(huà)會(huì)議上稱(chēng)，該公司將2018年芯片生產(chǎn)的全年資本支出從19億美元上調(diào)至23億美元。

光刻機(jī)：摩爾定律“守護(hù)神”

那么，這種無(wú)比金貴的光刻機(jī)，到底有什么樣神奇的魔力呢？

光刻機(jī)是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的核心設(shè)備，制造和維護(hù)需要高度的光學(xué)和電子工業(yè)基礎(chǔ)，世界上只有少數(shù)廠家掌握。因此光刻機(jī)的價(jià)格昂貴，通常在3000萬(wàn)至5億美元不等。

目前，雖然尼康、佳能等對(duì)手都在勉力競(jìng)爭(zhēng)，但是阿斯麥公司掌握了90%以上的高端光刻機(jī)市場(chǎng)份額。最新的兩代高端光刻機(jī)領(lǐng)域，即浸入式(Immersion)和極紫外線(xiàn)式(EUV)光刻機(jī)，全部由阿斯麥掌握核心技術(shù)。

　　▲刻蝕后的晶圓(圖片來(lái)源：維 基百科)

光刻機(jī)的作用是掃描曝光芯片晶圓，刻蝕集成電路。精度越高的光刻機(jī)，能生產(chǎn)出納米尺寸更小，功能更強(qiáng)大的芯片。

目前，蘋(píng)果iPhone X和iPhone 8系列的核心處理器芯片，采用了臺(tái)積電的10納米工藝技術(shù)，而今年即將推出的新款iPhone將使用7納米工藝技術(shù)。阿斯麥的EUV光刻機(jī)，則能生產(chǎn)出5納米工藝級(jí)別的芯片。

因此，阿斯麥的光刻機(jī)甚至被稱(chēng)為“摩爾定律”的守護(hù)神。眾所周知，摩爾定律是指每隔兩年左右一個(gè)芯片上的晶體管數(shù)量將翻一番，因此芯片的性能將相應(yīng)提高。

隨著芯片面積越來(lái)越小，很多人開(kāi)始擔(dān)心1965年提出的摩爾定律將要失效。但是光刻機(jī)的更新?lián)Q代，卻還在將芯片工藝推向極致，大體上維持著摩爾定律。

阿斯麥看好中國(guó)大陸市場(chǎng)

《瓦森納協(xié)定》是一項(xiàng)由40個(gè)國(guó)家簽署的協(xié)定，限制締約國(guó)向非締約國(guó)出售敏感性高科技技術(shù)。

此前曾有一種說(shuō)法，認(rèn)為最高端的光刻機(jī)技術(shù)受到《瓦森納協(xié)定》影響，被禁止向中國(guó)大陸出售。然而，阿斯麥公司發(fā)言人向日經(jīng)新聞駁斥了這一傳聞。

該發(fā)言人表示，阿斯麥公司對(duì)全球各地包括中國(guó)大陸在內(nèi)的客戶(hù)一視同仁，對(duì)中國(guó)大陸晶圓廠商的出口不受《瓦森納協(xié)定》等任何限制。

　▲圖片來(lái)源：攝圖網(wǎng) (圖文無(wú)關(guān))

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